显微高光谱成像系统

摘要

一种显微高光谱成像系统，是把显微成像技术和高光谱成像技术相结合的一种集成系统，包括光学显微镜、光谱仪、面阵CCD相机以及专用数据采集与处理软件。可提供图谱合一微观光谱图像，能广泛应用于临床医学、生物学、材料学、微电子学等学科领域中。

主权项

1、一种显微高光谱成像系统，包括一显微镜，该显微镜含有依次成光路联结的照明部件(1)、载物台(2)和显微物镜(3)，其特征在于：a.还有一与该显微镜成光学耦合的光谱仪子系统，该光谱仪子系统含有依次成光学联结的接口镜头(4)、狭缝(5)、准直镜(6)、光谱色散元件(7)、会聚镜(8)和面阵CCD相机(9)，以及依次成电路联结的前端信号处理盒(10)和计算机(11)，该前端信号处理盒(10)与该面阵CCD相机(9)成光电转换连接；该接口镜头(4)与该显微物镜(3)成配合光学联结；b.还有一高于微米级精度的驱动装置(20)连接该载物台(2)、其驱动该载物台(2)作微米级平动，对置于其上的样品进行推移扫描。