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发明名称 METHOD FOR CURING LOW DIELECTRIC CONSTANT FILM BY ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 KR20050004844(A) 申请公布日期 2005.01.12
申请号 KR20047018003 申请日期 2003.05.08
申请人 发明人
分类号 C23C16/30;C23C16/56;H01L21/3105 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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