面向纳米微加工嵌段共聚物模板自组装形态调控方法

摘要

面向纳米微加工嵌段共聚物模板自组装形态调控方法，它涉及一种在纳米微加工时所需要的模板图案的调控方法。目前能调控嵌段共聚物形态的处理方法具有调控能力有限、处理工艺比较复杂、所需时间很长的缺点。本发明的操作方法为：将嵌段共聚物溶解在二甲苯溶剂中配制成溶液，将溶液浇铸在基片表面自然挥发成膜，然后将基片放置于密闭容器内，再向密闭容器内滴加有机溶剂后密封，取出即为模板。本发明具有调控出来模板的形态多样性、调控过程高度可控、模板形态高度有序、调控不需复杂设备，工艺简单，成本低，效率高、能在基片上得到几百纳米尺度的各种图案等诸多优点，用本发明的方法还可以得到类似于圆锥齿轮形状的自组装模板图案。

主权项

1、一种面向纳米微加工嵌段共聚物模板自组装形态调控方法，其特征在于将嵌段共聚物溶解在二甲苯溶剂中配制成0.1～1wt％浓度的溶液，室温条件下浇铸在原子水平级平整的基片表面上，自然挥发成膜，将此浇铸膜与附着的基片放置于密闭容器内，密闭容器内垫有具有吸附溶剂蒸汽能力的材料，然后在室温下向密闭容器底部的具有吸附溶剂蒸汽能力的材料上滴加嵌段共聚物材料的良溶剂或选择性溶剂后迅速盖好盖子密封，有机溶剂的滴加量为足以使溶剂蒸汽压达到饱和，1小时～7天后取出即为面向纳米微加工嵌段共聚物模板。