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发明名称 GROOVED ROLLERS FOR A LINEAR CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1469971(A4) 申请公布日期 2005.01.12
申请号 EP20020792494 申请日期 2002.12.20
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 CANGSHAN, XU
分类号 B24B21/04;B24B21/18;B24B21/20;B24B37/04;H01L21/304;(IPC1-7):B24B7/22 主分类号 B24B21/04
代理机构 代理人
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