| 主权项 |
1.一种将支撑元件插入单结晶小径部凹陷之确认方法,用以确认模仿单结晶的形状而下降可能的复数个单结晶支撑元件在被插入形成于上述单结晶的小径部凹陷者,其特征在于:使上述小径部凹陷之最小径小于上述复数个单结晶支撑元件之间隔的同时,检测出一边与上述单结晶接触一边下降之上述单结晶支撑元件自上述单结晶分离者,而来检测出插入上述小径部凹陷内者。2.如申请专利范围第1项之将支撑元件插入单结晶小径部凹陷之确认方法,其中上述单结晶支撑元件自上述单结晶分离的检测,是藉由检测出作用于拉引上述单结晶的拉引机构的负荷来进行。3.如申请专利范围第1项之将支撑元件插入单结晶小径部凹陷之确认方法,其中上述单结晶支撑元件自上述单结晶分离的检测,是藉由检测出包含上述单结晶支撑元件与上述单结晶的电性闭路为开放时进行。4.一种单结晶拉引装置,使模仿单结晶的形状而下降可能的复数个单结晶支撑元件一边接触于上述单结晶一边下降,而使能够在插入形成于单结晶的小径部凹陷内之后,经由该小径部凹陷,利用上述复数个单结晶支撑元件来一边支撑上述单结晶一边拉引,其特征在于包括:单结晶支撑机构,使配设的上述复数个单结晶支撑元件一边接触于上述单结晶一边下降;检测出上述单结晶支撑元件与上述单结晶的接离之接离检测装置;及插入判定装置,根据上述接离检测装置的输出讯号来判断上述单结晶支撑元件是否被插入上述小径部凹陷内。5.如申请专利范围第4项之单结晶拉引装置,其中上述接离检测装置系设于上述单结晶的拉引机构而用以检测出持续拉引之上述单结晶的重量之负荷感测器。6.如申请专利范围第4项之单结晶拉引装置,其中上述接离检测装置系经由上述小径部凹陷来检测出作用于支撑上述单结晶的单结晶支撑机构上的负荷之负荷感测器。7.如申请专利范围第4项之单结晶拉引装置,其中上述接离检测装置包括:闭路,具有将电压施加于上述单结晶支撑元件与上述单结晶之间的电源;及开闭检测器,用以检测该闭路为开放或关闭。8.如申请专利范围第4、5、6或7项之单结晶拉引装置,其中上述单结晶支撑元件系可转动于上方之支撑爪。图式简单说明:第1图是表示本发明之实施形态的单结晶拉引装置之要部说明图。第2图是用以说明上述实施形态的作用之流程图。第3图是用以说明上述实施形态之检测支撑爪插入单结晶小径凹部的方法。第4图是表示其他实施形态的单结晶拉引装置之说明图。第5图是用以说明上述其他实施形态之检测支撑爪插入单结晶小径凹部的方法。第6图是表示其他实施形态之单结晶支撑机构的说明图。第7图是表示其他实施形态之单结晶支撑机构的说明图。 |
