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发明名称 GRAIN GROWTH OF ELECTRICAL INTERCONNECTION FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)
摘要
申请公布号 EP1244900(B1) 申请公布日期 2005.01.05
申请号 EP20010900885 申请日期 2001.01.05
申请人 ROSEMOUNT INC. 发明人 ROMO, MARK, G.;RUD, STANLEY, E., JR.;LUTZ, MARK, A.;SITTLER, FRED, C.;TOY, ADRIAN, C.
分类号 G01L9/12;B81B3/00;B81B7/00;B81C99/00;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
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