| 发明名称 |
Mapping-Sensor für Halbleiterwaferträger |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10297565(T5) |
申请公布日期 |
2005.01.05 |
| 申请号 |
DE20021097565T |
申请日期 |
2002.12.16 |
| 申请人 |
CYBEROPTICS SEMICONDUCTOR, INC. |
发明人 |
SCHUDA, FELIX J. |
| 分类号 |
G01B11/00;H01L21/00;H01L21/67;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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