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发明名称 GAS DRIVEN PLANETARY ROTATION APPARATUS AND METHODS FOR FORMING SILICON CARBIDE LAYERS
摘要
申请公布号 EP1493175(A1) 申请公布日期 2005.01.05
申请号 EP20030708945 申请日期 2003.02.04
申请人 CREE, INC. 发明人 PAISLEY, MICHAEL, JAMES;SUMAKERIS, JOSEPH, JOHN
分类号 C23C16/455;C23C14/50;C23C16/458;C30B25/12;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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