发明名称 Alignment method and exposure apparatus using the method
摘要
申请公布号 US6838686(B2) 申请公布日期 2005.01.04
申请号 US20010946486 申请日期 2001.09.06
申请人 CANON KK 发明人 KATAOKA YOSHIHARU
分类号 G01B11/00;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):G21N5/10;G01J21/86;H01J37/08 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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