厚度侦测感测器

摘要

本发明之一种厚度侦测感测器能宽大设定一用于侦测一介体之厚度之动态范围，并当动态范围是宽大的如此设定时能精确侦测介体之厚度。因此本厚度侦测感测器具有：一固定电极和一可动电极，配置为使其互相相向；一柱塞，用于由进入与介体接触而改变二电极间之间隙；及一CR振荡电路和一FV转换电路，用于转换储存在二电极间之静电容量成为一电气信号以侦测介体之厚度。柱塞之后端部分是进入与可动电极之间隙侧之电极表面相接触。可动电极自固定电极分开方向之位移是相当于介体之厚度。