| 摘要 |
本发明为一种薄膜形成装置用构成元件及该构成元件之洗净方法，其具有可以比先前更短之时间剥离形成于构成元件之附着膜d，并减轻洗净液带来之伤害之构造。利用喷镀，蒸镀，溅射，积层等方法在母材金属1之表面形成比上述构成元件之母材金属1在电化学上更卑贱之金属膜层2，或利用上述喷镀等方法在金属膜层2之表面形成比上述母材金属1在电化学上更高贵之第2金属膜层3，金属膜层2即可在与母材金属1或第2金属膜层3之间形成局部电池(local cell)，而母材金属1本身不致受到洗净液S之伤害，且可以在极端时间内剥离层合于母材金属1之附着膜d。 |
