发明名称 Semiconductor device and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 US2004266176(A1) 申请公布日期 2004.12.30
申请号 US20040895088 申请日期 2004.07.21
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 TANAKA MASAYUKI;SAIDA SHIGEHIKO;TSUNASHIMA YOSHITAKA
分类号 H01L21/318;H01L21/336;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8242;H01L23/485;H01L23/522;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/476 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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