发明名称 Method of electroplating copper layers with flat topography
摘要
申请公布号 US2004265562(A1) 申请公布日期 2004.12.30
申请号 US20040769605 申请日期 2004.01.30
申请人 UZOH CYPRIAN E;AKSU SERDAR;BASOL BULENT M 发明人 UZOH CYPRIAN E;AKSU SERDAR;BASOL BULENT M
分类号 C25D5/02;C25D5/18;H01L21/288;(IPC1-7):C25D5/18 主分类号 C25D5/02
代理机构 代理人
主权项
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