数字式高速可调光衰减器

摘要

一种数字式高速可调光衰减器，其特征在于：该光衰减器由基板1、m个微驱动单元2、输入准直器3、输出准直器4和数字式电子控制电路5构成，光定量衰减片2d表面涂覆宽带半透射膜，输入准直器3和输出准直器4固定在基板1上，且同轴布置。同现有技术比较，本发明具有如下的优点：1)采用的m个微驱动单元2运动机构行程小，只需一个工作脉冲即可在任意两个工作状态间转换，工作稳定，速度快；2)由于m个微驱动单元2落地面积非常小，衰减器体积大大减小；3)实现了微驱动单元2的驱动电压数字化，工作重复性好；4)微驱动单元2具有自锁功能；提高工作稳定性；5)光定量衰减片2d表面涂覆宽带半透射膜，没有波长及偏振控制的要求，具有宽带特性。

主权项

1.一种数字式高速可调光衰减器，包括基板，输入准直器，输出准直器，其特征在于：该光衰减器由一个基板(1)、m个微驱动单元(2)、一个输入准直器(3)、一个输出准直器(4)和数字式电子控制电路(5)构成，其中基板(1)上开有m个用于布置微驱动单元(2)的盲孔，该盲孔底部开一个凹槽，每一个微驱动单元(2)由轴(2a)、轴承(2b)、摆杆(2c)、光定量衰减片(2d)、线圈(2e)、永久磁铁(2f)组成，两端装有轴承(2b)的轴(2a)布置在基板(1)的凹槽上，摆杆(2c)的下端部固定在轴(2a)上，光定量衰减片(2d)固定在摆杆(2c)的上端部，线圈(2e)固定在基板(1)上，永久磁铁(2f)布置在线圈(2e)的顶部，光定量衰减片(2d)表面涂覆宽带半透射膜，输入准直器(3)和输出准直器(4)固定在基板(1)上，且同轴布置。