光开关

摘要

本发明公开了一种光开关，其可以方便地制得并且几乎不产生光损失。一活动电极板通过挠性梁状元件以其间预定的间隔与固定电极板平行地设置，至少两个反射镜设置在活动电极板的表面上，并且至少三个V形凹槽用于固定光纤，上述活动电极板、反射镜和V形凹槽通过各向异性蚀刻同时形成于其表面为(100)晶面的单晶硅衬底上。两个相对的反射镜布置为其镜面形成直角，而两个平行的V形凹槽形成为以相对于这些镜面的45°的角度彼此相对。输出侧和输入侧光纤分别容纳并固定于两个V形凹槽的一个和另一个中。

主权项

1.一种光开关，包括：衬底；固定板状电极；活动板状电极，利用与所述衬底连接的挠性梁状元件、平行于所述固定板状电极地安装，其中活动板状电极与固定板状电极之间有预定间隔；多个反射镜，形成在所述活动板状电极的表面上；多根光纤，分别定位并固定于沿着彼此平行并通过该些反射镜的多条直线形成在衬底上的多个V形凹槽中；以及其中，通过在固定板状电极与活动板状电极之间施加电压，活动板状电极和反射镜一起朝向固定板状电极移动，由此开关用于入射光信号的光路，并且所述光开关的特征在于：衬底和活动板状电极中的每一个都包括表面为(100)晶面的单晶硅；以及多个反射镜，其镜面通过用具有高反射率的物质涂覆垂直的(100)晶面而形成，垂直的(100)晶面通过对表面为(100)晶面的单晶硅进行各向异性蚀刻而制得，并且两个相对的镜面彼此形成直角。