| 发明名称 |
ALIGNMENT METHOD AND DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS587823(A) |
申请公布日期 |
1983.01.17 |
| 申请号 |
JP19810104453 |
申请日期 |
1981.07.06 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
KOMORIYA SUSUMU;MAEJIMA HIROSHI;IRIKITA NOBUYUKI;NAGATOMO HIROTO;OOSAKAYA TAKAYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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