MAGNETRON SPUTTER CATHODE COMPRISING A COOLING PLATE

摘要

Um eine relative breite Magnetron-Sputter-Kathode realisieren zu können, wird vorgeschlagen, dass auf der Vakuumseite eines Trägers (2) das Sputter-Target (4) mit einer Rückenplatte (3) angeordnet wird, die zum Träger (2) einen Spalt (14) einhält. Die Rückenplatte (3) ist als Kühlplatte ausgebildet. In ihr befinden sich Kühlmittelkanäle (15), die über einen Zulauf (16) durch den Träger (2) mit Kühlflüssigkeit versorgt werden, die über einen Rücklauf (17) durch den Träger (2) wieder abfliessen kann. Auf der Atmosphärenseite befindet sich eine Magnetanordnung (5).