发明名称 | 对准键合精度检测装置 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种对准键合精度检测装置,其特征在于它包括:一显微镜,一螺旋游标测量目镜,一CCD摄像机,一图像显示器,一红外光源,所述螺旋游标测量目镜连接在所述显微镜的垂直目镜的接口上,所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测量目镜上,所述图像显示器通过视频电缆与所述CCD摄像机连接,所述红外光源设置在所述显微镜的承片台下方。本实用新型利用在近红外区硅片具有较好的红外通过能力,CCD摄像机对红外光具有较好的成像质量,以及螺旋游标测量目镜对键合误差具有较精确的测量效果等特点,将其与显微镜结合成一体,为微电子机械系统(MEMS)加工技术提供了一种有效的测量手段。它可以广泛用于各种硅MEMS器件加工工艺过程的质量监控中,还可以作为可见光黑白图像的摄像测量显微镜使用。 | ||
申请公布号 | CN2665694Y | 申请公布日期 | 2004.12.22 |
申请号 | CN03242701.8 | 申请日期 | 2003.03.27 |
申请人 | 北京大学 | 发明人 | 张大成;李婷;王颖;王兆江;郝一龙;王阳元 |
分类号 | G01M11/00 | 主分类号 | G01M11/00 |
代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐宁;关畅 |
主权项 | 1、一种对准键合精度检测装置,其特征在于它包括:一显微镜,一螺旋游标测量目镜,一CCD摄像机,一图像显示器,一红外光源,所述螺旋游标测量目镜连接在所述显微镜的垂直目镜的接口上,所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测量目镜上,所述图像显示器通过视频电缆与所述CCD摄像机连接,所述红外光源设置在所述显微镜的承片台下方。 | ||
地址 | 100871北京市海淀区北京大学微电子学研究院 |