电浆处理装置及其制造方法

摘要

本发明之电浆处理装置系在电极31、32应朝向工件W侧经由绝缘构件41而设有导电构件51。在电极31、32与导电构件51之间夹有绝缘构件41。以该绝缘构件41与导电构件51间之间隙40b所施加的电压比火花电压小之方式设定绝缘构件41的介电常数与厚度。藉此，可防止在间隙40b引起放电，进而可提升处理品质。