晶圆升降装置

摘要

本发明系提供一种晶圆升降装置(lifter pin)。晶圆升降装置系用以升降放置于一平台上的一晶圆(wafer)。平台具有至少一个具有一侧壁之圆形贯穿孔洞。将圆形贯穿孔洞之圆心定义为一孔洞中心点。晶圆升降装置系设置于圆形贯穿孔洞内。晶圆升降装置包含一托座和一栓柱。该托座大体上为圆柱体。该栓柱大体上为圆柱体，并偏心地设置于该托座所具有的一上表面。藉由旋转晶圆升降装置，使得栓柱可更接近孔洞中心，避免栓柱与贯穿孔洞之侧壁于晶圆升降装置进行升降时产生摩擦。