| 摘要 |
本发明提供一种含有第IIIA族元素之氟化物的薄膜，系至少含有第IIIA族元素、与氟元素之皮膜者；其特征为，含有第IIIA族氟化物相，而且此氟化物相为正交晶系，含有50％以上之属于空间群Pnma的结晶相。使用本发明，为授与曝露于腐蚀性卤素原料存在之大气下的构件耐蚀性，在其表面形成含有第IIIA族之氟化物的皮膜中，藉由控制其结晶相之状态，可以抑制因腐蚀而产生的变色之故，藉由此含第IIIA族氟化物皮膜之所含结晶相，能提高耐蚀性；更由于此结晶相为正交晶系，乃实质的单相，能抑制皮膜之变色。又，皮膜之硬度，以显微型威氏硬度计测定，在硬度Hv100以上，为能减低．抑制皮膜之损耗量者。 |
