基板搬送装置及基板搬送方法以及真空处理装置

摘要

(课题)本发明提供一种不会增加高度方向之设置空间，即可以加长水平方向之搬送距离之基板搬送装置。(解决手段)在由底板71及多个的滑动板72–74积层而成的多段滑动式的基板搬送装置70中，在会将被载置在最上段之滑动板74的基板G进行搬送动作而呈多段地被积层的的底板71及滑动板72–73，分别在高度方向如不干涉地交互地错开地形成开口部71b及开口部72b–73b，而将滑轮71c、滑轮72c–73c以及皮带71d、皮带72d–73d等的滑动驱动机构部收容在其内部。