| 发明名称 |
INTEGRIERTE PHASENTRENNVORRCHTUNG FÜR HOCH-VACUUMANLAGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60107108(D1) |
申请公布日期 |
2004.12.16 |
| 申请号 |
DE20016007108 |
申请日期 |
2001.09.21 |
| 申请人 |
VEECO INSTRUMENTS INC., WOODBURY |
发明人 |
COLOMBO, E. |
| 分类号 |
B01J3/00;B01J3/02;C23C14/28;C30B23/02;F04B37/08;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/02;F25J1/02 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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