发明名称 THIN FILM RESISTORS WHOSE SURFACE RESISTANCE VALUES ARE COMPRISED BETWEEN 1M-OHMS AND SEVERAL G-OHMS AND PROCESS OF MAKING IT
摘要
申请公布号 EP0405304(A3) 申请公布日期 1992.06.03
申请号 EP19900111587 申请日期 1990.06.19
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HOHEISEL, MARTIN, DR.;MROTZEK, CHRISTINE;MUELLER, WERNER
分类号 C23C14/34;C23C14/08;C23C14/24;H01C7/00;H01C17/08;H01C17/12;H01L27/13;(IPC1-7):H01C7/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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