| 发明名称 |
Ion beam-assisted high-temperature superconductor (HTS) deposition for thick film tape |
| 摘要 |
An ion source impinging on the surface of the substrate to be coated is used to enhance a MOCVD, PVD or other process for the preparation of superconducting materials.
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| 申请公布号 |
US2004247780(A1) |
申请公布日期 |
2004.12.09 |
| 申请号 |
US20030456733 |
申请日期 |
2003.06.05 |
| 申请人 |
SELVAMANICKAM VENKAT;LEE HEE-GYOUN |
发明人 |
SELVAMANICKAM VENKAT;LEE HEE-GYOUN |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/22;C23C14/28;C23C16/40;C23C16/48;H01L39/24;(IPC1-7):B05D5/12 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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