| 摘要 |
Ein geblazetes diffraktives optisches Element hat einen Träger (14) und mehrere geblazete Beugungsstrukturen (16, 18, 18'; 216, 218), die im Abstand einer lokal variierenden Gitterkonstante (g¶n-2¶, g¶n-1¶, g¶n¶, g¶n+1¶) auf dem Träger (14) aufgebracht sind. In einem ersten Bereich (B¶n¶, B¶n+1¶; B'¶n-2¶, B'¶n-1¶; B''¶n¶) haben die Beugungsstrukturen (16; 216) ein zumindest annähernd rampenförmiges Profil. In einem zweiten Bereich (B¶n-2¶, B¶n-1¶; B'¶n¶, B'¶n+1¶; B''¶n-1¶) sind die Beugungsstrukturen (18; 218) durch Aufteilung in vorzugsweise steg- oder pfeilerförmige Unterstrukturen (26; 26'; 226) binär geblazet. Dadurch läßt sich in dem zweiten Bereich (B¶n-2¶, B¶n-1¶; B'¶n¶, B'¶n+1¶; B''¶n-1¶) die Beugungseffizienz des diffraktiven optischen Elements (10; 100; 200) erhöhen. |
