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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer mikrominiaturisierten Schaltungsanordnung
摘要
申请公布号 DE1439706(A1) 申请公布日期 1969.01.09
申请号 DE19641439706 申请日期 1964.07.29
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT MBH 发明人 HANS-JUERGEN SCHUETZE,DR.;KLAUS HENNINGS,DR.
分类号 H01L21/00;H01L21/60;H01L25/16;H01L27/00;H01L49/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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