发明名称 POLYNUCLEAR METAL MOLECULAR BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20040102147(A) 申请公布日期 2004.12.03
申请号 KR20047016947 申请日期 2003.04.23
申请人 发明人
分类号 G21K1/00;H01J27/26;C23C16/00;G21K5/04;H01J27/02;H01J27/08;H01J27/20;H01J27/24;H01J37/08;H01J37/305 主分类号 G21K1/00
代理机构 代理人
主权项
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