光阻组合物及其制造方法

摘要

一种无水液相中制备具增强纯度及低聚合分散性之聚合物的方法，其包含下列步骤：聚合、纯化、转酯化、纯化、催化剂移除、和溶剂交换。在溶液中生成的聚合物，不需进一步处理的步骤，而能直接使用来制备光阻组合物。