| 摘要 |
一种低成本及可大量制作矽奈米线之方法，其系将一矽基板以敏化液与活化液进行催化处理，使反应金属原子吸附在该矽基板表面，再将处理后之矽基板浸泡于一无电镀酸性镀液中进行无电镀沈积，以于矽基板上电镀沉积出一层含有催化金属微粒之金属层，再将此一矽基板置入高温炉管中，于高温下催化金属微粒与矽基板表面之矽原子在高温下于金属／矽基板界面处熔融形成液态的矽化物合金 ，而后透过固态–液态–固态(solid–liquid–solid SLS)化学合成制程以藉由温度梯度之变化，促使矽–矽键因触媒效应重新组合排列而堆叠成矽奈米线。 |
