内连线错误的改善图案

摘要

一种内连线错误的改善图案。此内连线错误的改善图案系应用于金属层／介电层／金属层之结构，在其中一金属层的其他区域加上补助图案，利用这些补助物所造成的热应力梯度来集中金属层中的空缺，以防止用以连接两金属层之中介插塞底部产生孔洞。