发明名称 微光机电系统中的固态可调式微光学装置及方法
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.08.11
申请号 TW096146627 申请日期 2007.12.06
申请人 国立清华大学 发明人 方维伦;李思源;童玺文;陈文志
分类号 G02B3/14 主分类号 G02B3/14
代理机构 代理人 蔡清福 台北市中山区中山北路3段27号13楼
主权项 一种固态可调式微光学装置,其包含:一第一环,其包含一第一外框和一第一内框;一第一微透镜,其包含一第一圆弧表面且其设置于该第一环上;一第二环,其包含一第二外框和一第二内框且其环绕该第一环;一第二微透镜,其包含一第二圆弧表面且其设置于该第二环上,并覆盖在该第一环及该第一微透镜上方;以及一温度调整装置,系用以调整该第一环及该第二环至少其中之一的温度,并藉此变形该第一微透镜及该第二微透镜至少其中之一。如申请专利范围第1项所述之固态可调式微光学装置,更包含一基质,以使该第一环及该第二环放置于该基质的一表面,其中,该基质具有一光线的穿透性,以形成通过该第一及该第二微透镜的一光线路径。如申请专利范围第2项所述之固态可调式微光学装置,其中该基质系以一绝缘材料制成。如申请专利范围第2项所述之固态可调式微光学装置,更包含一光学绕射元件,设置于该基质的至少一表面,以改变该光线路径。如申请专利范围第4项所述之固态可调式微光学装置,其中该光学绕射元件包含一光栅。如申请专利范围第2项所述之固态可调式微光学装置,其中该第一外框、该第一内框、该第二外框和该第二内框至少其中之一相对于该光线路径为不对称形状。如申请专利范围第1项所述之固态可调式微光学装置,其中该第一外框、该第一内框、该第二外框和该第二内框至少其中之一为椭圆形。如申请专利范围第1项所述之固态可调式微光学装置,更包含一反射物质,设置于该第一圆弧表面及该第二圆弧表面至少其中之一上。如申请专利范围第1项所述之固态可调式微光学装置,其中该第一圆弧表面呈现一凹面及一凸面其中之一。如申请专利范围第1项所述之固态可调式微光学装置,其中该第二圆弧表面呈现一凹面及一凸面其中之一。如申请专利范围第1项所述之固态可调式微光学装置,其中该温度调整装置系一加热器,藉由加热以变形该第一微透镜及该第二微透镜至少其中之一。一种固态可调式微光学装置,其包含:一第一环;一微透镜,其包含一圆弧表面且其设置于该第一环上;一反射物质,其设置于该微透镜的该圆弧表面上;以及一变形装置,其耦接于该第一环以变形该微透镜。如申请专利范围第12项所述之固态可调式微光学装置,更包含一基质,以使该第一环放置于该基质的一表面,其中,该基质具有一光线的穿透性,以形成通过该微透镜及该基质的一光线路径。如申请专利范围第13项所述之固态可调式微光学装置,其中该基质系以一绝缘材料制成。如申请专利范围第13项所述之固态可调式微光学装置,更包含一光学绕射元件,设置于该基质的至少一表面,以改变该光线路径。如申请专利范围第15项所述之固态可调式微光学装置,其中该光学绕射元件包含一光栅。如申请专利范围第13项所述之固态可调式微光学装置,更包含一第二环,设置在该第一环内。如申请专利范围第17项所述之固态可调式微光学装置,更包含另一微透镜,设置于该第二环上,且该变形装置更变形该另一微透镜以调节该微透镜的一焦距。如申请专利范围第12项所述之固态可调式微光学装置,其中该第一环具有一第一外框和一第一内框,该第一外框和该第一内框至少其中之一相对于该光线路径为不对称形状。如申请专利范围第12项所述之固态可调式微光学装置,其中该第一环具有一第一外框和一第一内框,该第一外框和该第一内框至少其中之一为椭圆形。如申请专利范围第12项所述之固态可调式微光学装置,其中该圆弧表面呈现一凹面及一凸面其中之一。如申请专利范围第12项所述之固态可调式微光学装置,其中该变形装置系一加热器,藉由加热使该第一环及该微透镜至少其中之一变形。一种调整一固态可调式微光学装置的方法,其步骤包含:提供一第一环;提供一微透镜并将其设置于该第一环上,其中该微透镜包含一圆弧表面;设置一反射物质于该微透镜的该圆弧表面上;以及改变该第一环及该微透镜至少其中之一的温度以使该微透镜变形。如申请专利范围第23项所述之方法,更包含以下步骤:将该第一环放置于一基质的一表面,其中,该基质具有一光线的穿透性,以形成通过该微透镜及该基质的一光线路径。如申请专利范围第24项所述之方法,其中该基质系以一绝缘材料制成。如申请专利范围第24项所述之方法,更包含以下步骤:设置一光学绕射元件于该基质的至少一表面,以改变该光线路径。如申请专利范围第23项所述之方法,更包含以下步骤:设置一第二环在该第一环内。如申请专利范围第27项所述之方法,更包含以下步骤:设置另一微透镜于该第二环上。如申请专利范围第28项所述之方法,更包含以下步骤:改变该第二环及该另一微透镜至少其中之一的温度以使该另一微透镜变形。如申请专利范围第23项所述之方法,其中该第一环具有一第一外框和一第一内框,该第一外框和该第一内框至少其中之一系设计为相对于该光线路径呈不对称形状。如申请专利范围第23项所述之方法,其中该第一环具有一第一外框和一第一内框,该第一外框和该第一内框至少其中之一系设计为椭圆形。如申请专利范围第23项所述之方法,其中该圆弧表面设计为一凹面及一凸面其中之一。如申请专利范围第23项所述之方法,其中改变该第一环及该微透镜至少其中之一的温度之步骤系藉由一加热器加热,使该第一环及该微透镜至少其中之一变形。一种调整一固态可调式微光学装置的方法,其步骤包含:提供一第一环;设置一第二环使其环绕该第一环;设置一第一微透镜于该第一环上;设置一第二微透镜于该第二环上,并覆盖在该第一环及该第一微透镜上方;以及调整该第一环及该第二环至少其中之一的温度,藉此变形该第一微透镜及该第二微透镜至少其中之一。一种调整一固态可调式微光学装置的方法,其步骤包含:提供一基材;以一微影制程形成复数同心环于该基材的一表面;由内向外设置复数微透镜于该复数同心环上;以及调整该复数同心环的温度,以变形该复数微透镜。
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