静电容量检出装置

摘要

本发明的课题是在于实现优长的静电电容检测装置。其解决手段系具备：配置成M行N列的行列状之M条的个别电源线，及N条的个别输出线，以及设置于该个别电源线与该个别输出线的交点之静电电容检测元件，静电电容检测元件包含讯号检测元件及讯号放大元件，讯号检测元件包含电容检测电极及电容检测介电质膜，讯号放大元件系由讯号放大用MIS型薄膜半导体装置所构成，该讯号放大用MIS型薄膜半导体装置系由闸极电极，闸极绝缘膜及半导体膜所构成。