直接写入微影系统使用固定尺寸图素来产生可变间距巢形线及/或接触孔的方法

摘要

所提供者为一用来显影一微影遮罩布局之方法及系统，此微影遮罩布局系适合用来组构无遮罩微影系统中之一阵列的微镜子，此方法包含产生代表和想要影像相关之影像特性的理想遮罩布局，接着，依据理想遮罩布局的平均强度来生产等效遮罩。