| 摘要 |
本发明系一种磺醯基重氮甲烷化合物，其特征为以下述一般式(1)所示，093103371-p01.bmp(式中，R碳数1～4之烷基；G为SO2或CO；R^3为碳数1～10之烷基、或碳数6～14之芳基；p为1或2；q为0或1，且满足p＋q＝2；m为3～11之整数；k为0～3之整数)。本发明之磺醯基重氮甲烷及使用该磺醯基重氮甲烷之正型化学增幅型光阻材料，因磺醯基重氮甲烷之苯环之2位置上含有长链烷氧基，因此解像性、焦点容许度优异，即使PED为长时间也极少产生线宽变动或形状变差，热安定性也高，涂布后、显像后、剥离后之杂质少，显像后之图案轮廓形状优异，具有适合微细加工之高解像性。 |
