基板检查装置用托板装配及基板检查装置

摘要

本发明的一种支承基板的托板装配包含：一托板，用以将一基板支承在该托板的上表面；以及自上方被放置在该托板上的一探针，用以将该基板支承在该托板与该探针之间。此外，本发明的一种基板检查装置包含：一室，该室具有用来将该气密室抽成一高真空状态之一排气机；用来将一电子束放射到该基板之一电子束产生器；用以侦测以自该电子束产生器放射之电子束照射该基板而产生的二次电子之一个二次电子探测器；一托板，用以将该基板支承在该托板的上表面；以及自上方被放置在该托板上的一探针，用以将该基板支承在该托板与该探针之间。