水处理装置及使用该水处理装置之水处理方法

摘要

本发明提供一种水处理装置，及使用该水处理装置之水处理方法，系可去除CMP(化学机械式研磨法)排水所含溶胶状之微粒子及氮成分者。藉由使用具有凝胶状之第2过滤器的过滤装置的过滤处理，以去除CMP排水中之溶胶状之微粒子成分。再且，藉由使用电极的电化学式处理，以去除CMP排水中之氮分。该等过滤处理及电化学式处理，能使用个别之槽以实施，亦能在同一槽中实施。在同一槽内实施过滤处理及电化学式处理，即可提供经省空间化的水处理装置。