| 摘要 |
本发明揭露一化学机械研磨用之微细氧化铈颗粒浓缩物，及其制备方法。该方法包含反应一反应物混合物，包括i)水、ii)一水溶性铈盐化合物之水溶液、以及iii)氨或铵盐，在一连续反应器中，于反应温度250–700℃、反应压力180–550bar之下，反应0.01秒到10分钟以得到一包含微细氧化铈颗粒溶液，在反应混合物中含有该铈盐化合物之量为0.01到20wt％；在一具有0.01到10μm大小细孔过滤器之浓缩机中，浓缩该包含有微细氧化铈颗粒之溶液。该浓缩物对于化学机械研磨浆料、藉由稀释该浓缩物容易生产分散溶液、以及添加添加剂到该浓缩物中均有益。 |
