发明名称 CAPILLARY DRYING OF SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1480765(A1) 申请公布日期 2004.12.01
申请号 EP20030707744 申请日期 2003.02.05
申请人 AKRION LLC 发明人 MYLAND, LAWRENCE, J.
分类号 B08B7/00;F26B5/16;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/67;H01L21/673;(IPC1-7):B08B7/00 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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