| 摘要 |
Ein analytisches Verfahren zum Kombinieren chemischer Information mit kristallographischer Information, um eine Karte der Kristallorientierung, der Natur der Korngrenzen zu erhalten, und zum Unterscheiden kristalliner Phasen in einer polykristallinen Probe umfasst die Schritte: Bereitstellen einer Probe mit einem festgelegten Punktgitter, Auswählen eines Punktes, Einschießen eines kollimierten Elektronenstrahls auf den Punkt, um ein Elektronrückstreubeugungs-(EBSD)muster und die Elementzusammensetzung der Probe an dem Punkt zu erhalten, Aufzeichnen der Information und Wiederholen des Bestimmens der kristallinen Phase in der Probe für jeden Punkt in dem Gitter. Eine Vorrichtung, die das Verfahren ausführen kann, umfasst ein SEM mit einer Einrichtung zum Einschießen eines Elektronenstrahls auf eine Probe, eine Einrichtung zum Erhalten eines EBSD-Musters (EBSD) und eine Einrichtung zum Bestimmen der Zusammensetzung der Probe sowie eine Einrichtung zum Aufzeichnen der Lagen und Eigenschaften von EBSD-Bändern und der Elementzusammensetzung der Probe.
|
