发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UN CIRCUIT ELECTRONIQUE INTEGRE COMPRENANT UN CONDENSATEUR
摘要 <P>Un procédé de réalisation d'un circuit électronique intégré incluant un condensateur comprend la formation d'un empilement au dessus d'un substrat (100, 101). L'empilement comprend un premier volume d'un matériau temporaire, un second volume d'au moins un matériau diélectrique isolant (2), et un troisième volume d'un premier matériau conducteur électrique (3). Après dépôt d'un matériau d'enrobage (4) sur l'empilement, le matériau temporaire est évacué par des cheminées d'accès (C1, C2) formées entre une surface du circuit (S) et le premier volume. Le matériau temporaire est ensuite remplacé par un second matériau conducteur électrique.</P>
申请公布号 FR2855323(A1) 申请公布日期 2004.11.26
申请号 FR20030006031 申请日期 2003.05.20
申请人 STMICROELECTRONICS SA 发明人 DELPECH PHILIPPE;REGNIER CHRISTOPHE;CREMER SEBASTIEN
分类号 H01L21/02;H01L29/92;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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