| 主权项 |
1.一种空气洁净系统,包括: 一壳体,用于容纳一空气流; 一酸性水供应装置,用于供应酸性水; 一硷性水供应装置,用于供应硷性水; 复数个第一喷嘴,设置于该壳体中并连接于该酸性 水供应装置,用于喷洒酸雾;以及 复数个第二喷嘴,以相对于该等第一喷嘴的方式设 置于该壳体中并连接于该硷性水供应装置,用于喷 洒硷雾。 2.如申请专利范围第1项所述之空气洁净系统,更包 括:一多孔层,设置于该壳体中且位于该等第一喷 嘴与该等第二喷嘴之间。 3.如申请专利范围第2项所述之空气洁净系统,其中 该等第一喷嘴与该等第二喷嘴朝向该多孔层喷洒 。 4.如申请专利范围第2项所述之空气洁净系统,其中 该多孔层包覆该壳体的横截面。 5.如申请专利范围第1项所述之空气洁净系统,其中 该壳体包括一排水盆,用于收集该壳体内之水。 6.如申请专利范围第5项所述之空气洁净系统,其中 该酸性水供应装置与该硷性水供应装置分别独立 连接于该壳体之该排水盆,并将该排水盆所收集之 水循环利用。 7.如申请专利范围第6项所述之空气洁净系统,其中 该酸性水供应装置系一阳离子交换树脂水塔,用于 减少循环水中的阳离子以形成酸性水。 8.如申请专利范围第6项所述之空气洁净系统,其中 该硷性水供应装置系一阴离子交换树脂水塔,用于 减少循环水中的阴离子以形成硷性水。 9.如申请专利范围第1项所述之空气洁净系统,更包 括:一第一帮浦,连接该酸性水供应装置及该等第 一喷嘴,并将该酸性水由该酸性水供应装置加压至 该等第一喷嘴。 10.如申请专利范围第1项所述之空气洁净系统,其 更包括:一第二帮浦,连接该硷性水供应装置及该 等第二喷嘴,并将该硷性水由该硷性水供应装置加 压至该等第二喷嘴。 11.如申请专利范围第1项所述之空气洁净系统,其 中由该酸性水供应装置所供应之酸性水之酸硷値 系介于4.5至6.5之间。 12.如申请专利范围第1项所述之空气洁净系统,其 中由该酸性水供应装置所供应之酸性水之酸硷値 系低于7.0至4.5之间。 13.如申请专利范围第1项所述之空气洁净系统,其 中由该硷性水供应装置所供应之硷性水之酸硷値 系介于7.5至9.5之间。 14.如申请专利范围第1项所述之空气洁净系统,其 中由该硷性水供应装置所供应之硷性水之酸硷値 系高于7.0至9.5之间。 15.一种空气洁净系统,包括: 一壳体,用于容纳一空气流; 一酸性水供应装置,用于供应酸性水; 一硷性水供应装置,用于供应硷性水; 复数个过滤模组,设置于该壳体中且每一过滤模组 包括: 一多孔层; 复数个第一喷嘴,连接于该酸性水供应装置,用于 朝向该多孔层喷洒酸雾; 复数个第二喷嘴,以相对于该等第一喷嘴的方式设 置于该壳体中并连接于该硷性水供应装置,用于朝 向该多孔层喷洒硷雾;以及 一冷凝器,以位于该等过滤模组下游侧之后的方式 设置于该壳体中,用于将经过该等过滤模组之空气 凝结成液态。 16.如申请专利范围第15项所述之空气洁净系统,其 中该多孔层包覆该壳体的横截面。 17.如申请专利范围第15项所述之空气洁净系统,其 中该壳体包括一排水盆,用于收集该壳体内之水。 18.如申请专利范围第15项所述之空气洁净系统,其 中该酸性水供应装置与该硷性水供应装置分别独 立连接于该壳体之该排水盆,并将该排水盆所收集 之水循环利用。 19.如申请专利范围第18项所述之空气洁净系统,其 中该酸性水供应装置系一阳离子交换树脂水塔,用 于减少循环水中的阳离子以形成酸性水。 20.如申请专利范围第18项所述之空气洁净系统,其 中该硷性水供应装置系一阴离子交换树脂水塔,用 于减少循环水中的阴离子以形成硷性水。 21.如申请专利范围第15项所述之空气洁净系统,更 包括:一第一帮浦,连接该酸性水供应装置及该等 第一喷嘴,并将该酸性水由该酸性水供应装置加压 至该等第一喷嘴。 22.如申请专利范围第15项所述之空气洁净系统,更 包括:一第二帮浦,连接该硷性水供应装置及该等 第二喷嘴,并将该硷性水由该硷性水供应装置加压 至该等第二喷嘴。 23.如申请专利范围第15项所述之空气洁净系统,其 中由该酸性水供应装置所供应之酸性水之酸硷値 系介于4.5至6.5之间。 24.如申请专利范围第15项所述之空气洁净系统,其 中由该酸性水供应装置所供应之酸性水之酸硷値 系低于7.0至4.5之间。 25.如申请专利范围第15项所述之空气洁净系统,其 中由该硷性水供应装置所供应之硷性水之酸硷値 系介于7.5至9.5之间。 26.如申请专利范围第15项所述之空气洁净系统,其 中由该硷性水供应装置所供应之硷性水之酸硷値 系高于7.0至9.5之间。 27.一种空气洁净系统,用于洁净具有空气分子污染 物之空气,包括: 复数个第一喷嘴,用于喷洒雾状的酸性水滴以捕捉 空气分子污染物及中和硷性空气分子污染物; 复数个第二喷嘴,用于喷洒雾状的硷性水滴以捕捉 空气分子污染物及中和酸性空气分子污染物;以及 一水滴捕捉器,用于捕捉带有空气分子污染物的水 滴,其中该水滴捕捉器具有一第一侧及一第二侧, 且该等第一喷嘴面向该水滴捕捉器之该第一侧,而 该等第二喷嘴面向该水滴捕捉器之该第二侧。 28.如申请专利范围第27项所述之空气洁净系统,更 包括:一排水盆,用于收集带有空气分子污染物之 水滴。 29.如申请专利范围第28项所述之空气洁净系统,更 包括: 一酸性水供应装置,连接于该排水盆,并且该酸性 水供应装置系藉由收集于该排水盆中的水滴来产 生酸性水;以及 一硷性水供应装置,连接于该排水盆,并且该硷性 水供应装置系藉由收集于该排水盆中的水滴来产 生硷性水。 30.如申请专利范围第29项所述之空气洁净系统,更 包括: 一第一帮浦,连接该酸性水供应装置,并将该酸性 水加压至该等第一喷嘴以喷洒雾状的酸性水滴;以 及 一第二帮浦,连接该硷性水供应装置,并将该硷性 水加压至该等第二喷嘴以喷洒雾状的硷性水滴。 31.如申请专利范围第29项所述之空气洁净系统,其 中该酸性水供应装置系一阳离子交换树脂水塔,用 于减少存在于该排水盆所收集之水滴中的阳离子, 以形成酸性水,以及该硷性水供应装置系一阴离子 交换树脂水塔,用于减少存在于该排水盆所收集之 水滴中的阴离子,以形成硷性水。 32.如申请专利范围第27项所述之空气洁净系统,其 中该水滴捕捉器为一多孔层。 33.如申请专利范围第27项所述之空气洁净系统,其 中该酸性水滴之酸硷値系介于4.5至6.5之间,而该硷 性水滴之酸硷値系介于7.5至9.5之间。 34.如申请专利范围第27项所述之空气洁净系统,其 中该酸性水滴之酸硷値系低于7.0至4.5之间,而该硷 性水滴之酸硷値系高于7.0至9.5之间。 35.一种洁净具有空气分子污染物之空气的方法,包 括以下步骤: 喷洒一酸性雾状水滴,用以捕捉空气分子污染物; 利用该酸性雾状水滴,中和硷性空气分子污染物; 喷洒一硷性雾状水滴,用以捕捉空气分子污染物; 利用该硷性雾状水滴,中和酸性空气分子污染物; 以及 捕捉带有空气分子污染物之水滴。 36.如申请专利范围第35项所述之方法,其中该酸性 雾状水滴之酸硷値系介于4.5至6.5之间且该硷性雾 状水滴之酸硷値系介于7.5至9.5之间。 37.如申请专利范围第35项所述之方法,其中该酸性 雾状水滴之酸硷値系低于7.0至4.5之间且该硷性雾 状水滴之酸硷値系高于7.0至9.5之间。 38.如申请专利范围第35项所述之方法,其更包括以 下步骤: 收集捕捉到之水滴; 由捕捉到之水滴产生酸性水,用以喷洒该酸性雾状 水滴;以及 由捕捉到之水滴产生硷性水,用以喷洒该硷性雾状 水滴。 39.如申请专利范围第38项所述之方法,其中在产生 酸性水的步骤中,该酸性水系藉由使用一阳离子交 换树脂水塔,用于减少所捕捉到之水滴中的阳离子 ,而在产生硷性水的步骤中,硷性水系藉由使用一 阴离子交换树脂水塔,用于减少所捕捉到之水滴中 的阴离子。 图式简单说明: 第1图系表示一习知空气洁净系统用于半导体工厂 洁净室之纵剖面图; 第2图系表示透过第1图之系统将流经系统之空气 微粒移除之示意图; 第3图系表示不同的循环水酸硷値与氨和二氧化硫 的移除率相对关系图; 第4图系表示本发明空气洁净系统之纵剖面图;以 及 第5图系表示空气流经第4图中应用酸雾与硷雾之 系统,以移除空气中所存在的酸性与硷性空气分子 污染物之示意图。 |
