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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Wärmeverwaltung in einem Massenstrom-Steuergerät
摘要
申请公布号 DE10297602(T5) 申请公布日期 2004.11.25
申请号 DE20021097602T 申请日期 2002.11.20
申请人 MKS INSTRUMENTS INC., ANDOVER 发明人 AMBROSINA, JESSE;SUZUKI, ISAO;SHAJII, ALI
分类号 G01F1/00;G01F1/684;G01F5/00;G01F15/04;G05D7/06;(IPC1-7):G01F5/00 主分类号 G01F1/00
代理机构 代理人
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