一种纳米孔氧化铝模板的生产工艺

摘要

本发明公开了一种纳米孔氧化铝模板的生产工艺，特别是用阳极氧化与离子轰击结合的方法来生产高密度、高度有序的纳米孔氧化铝模板的生产工艺。其工艺过程为铝箔经退火、清洗、电化学抛光后，在氧化性酸，如硫酸、草酸或磷酸的水溶液中进行阳极氧化，生成的氧化铝膜使用离子轰击的物理方法进行开孔处理，最后用水冲洗、烘干。该工艺简单、成本低，产品的孔洞分布均匀有序，孔洞密度高，孔洞的形貌和尺寸可以控制，孔径在几纳米至一百纳米之间变化。这种多孔氧化铝模板除了传统的工业应用，在纳米器件的直接组装中也有广泛的应用。

主权项

1.一种纳米孔氧化铝模板的生产工艺，它包括以下步骤：a.将铝箔进行预处理；b.对预处理后的铝箔进行阳极氧化；c.去除氧化后得到的半成品上残留的金属铝；d.将底部有几埃厚的致密氧化铝膜的半成品用离子轰击法开孔处理；e.水冲洗、烘干。