| 发明名称 | 用带电粒子束微细加工铜的方法 | ||
| 摘要 | 一种微细加工方法，所述微细加工方法包括在有助蚀剂情况下用带电粒子束蚀刻衬底，所述衬底具有叠加在介质层之上的铜。助蚀剂选自氨、乙酸、硫羟乙酸及它们组合。 | ||
| 申请公布号 | CN1550037A | 申请公布日期 | 2004.11.24 |
| 申请号 | CN02816875.5 | 申请日期 | 2002.08.26 |
| 申请人 | 恩普泰斯特有限责任公司 | 发明人 | V·V·马卡罗夫;J·F·鲁伊斯;T－T·米奥 |
| 分类号 | H01L21/3213 | 主分类号 | H01L21/3213 |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 杨晓光;李峥 |
| 主权项 | 1.一种微细加工法，包括：(a)提供衬底，所述衬底包括介质层和叠加在上述介质层上的铜；及(b)在有助蚀剂情况下，用带电粒子束蚀刻上述铜，上述助蚀剂包括气体，所述气体从氨、乙酸、硫羟乙酸及它们组合的中选定。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||