用于检查基片的照明装置

摘要

一种检查基片的照明装置，用于提供检查大尺寸的基片表面的最佳的视觉条件，该照明装置包括：多个用于分别反射来自多个光源的光线的镜子，这些光源在一个曲面上沿左/右和上/下中的至少一个方向移动；和用于将在镜子上反射的散射光聚焦到一个焦点，并照亮在一个平台上的基片的菲涅耳透镜，由此简化该照明装置的移动结构，并允许操作人员通过用多束光线照亮大尺寸基片的大片区域，在不移动焦点的情况下在一个焦点进行检查。

主权项

1.一种用于检查基片的照明装置，包括：多个用于分别地反射来自多个光源的光的镜子；和用于将来自所述镜子的光聚焦到一个焦点并照亮在一个平台上的基片的透镜。