| 发明名称 | 识别在掩模层上的虚拟特征的系统和方法 | ||
| 摘要 | 提供一种用于在掩模层上识别虚拟/主要特征的自动化技术。在多掩模层技术中，虚拟/主要特征的定义可以根据连通性信息或功能性联合信息。在几何结构技术中，虚拟/主要特征的定义可以根据特征尺寸、特征形状、特征图案或者一个特征对邻近特征的接近性。在一个实施方案中，可以采用多个定义或多种技术。 | ||
| 申请公布号 | CN1547762A | 申请公布日期 | 2004.11.17 |
| 申请号 | CN02816728.7 | 申请日期 | 2002.08.16 |
| 申请人 | 数字技术股份有限公司 | 发明人 | F·－C·张;C·皮拉特 |
| 分类号 | H01L21/3105;H01L21/66;G03F1/14 | 主分类号 | H01L21/3105 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 吴明华 |
| 主权项 | 1.一种从主要特征区别虚拟特征的方法，该方法包括：选择掩模层；提供识别在掩模层上的虚拟特征的技术；和应用该技术到所选择的掩模层上。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||