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Le dispositif microélectromécanique ou nanoélectromécanique (1 A) comporte une membrane (3), qui est supportée au-dessus d'un substrat (2), en étant espacée dudit substrat (2), et au moins une électrode d'actionnement (5 ou 5'), qui est formée sur ledit substrat (2), qui est positionnée au moins en partie au-dessous de la membrane (3), et qui permet d'actionner électrostatiquemement la membrane (3). La membrane (3) est mobile en translation le long d'au moins un premier axe de translation (XX') sensiblement parallèle au substrat (2), avec une course de déplacement le long de cet axe (XX') qui est limitée entre deux positions extrêmes. La face inférieure (3a) de la membrane comporte une zone d'actionnement électrostatique (31a) qui, lorsque la membrane (3) est au repos, est espacée de la face supérieure (5a) de l'électrode d'actionnement 5 ou 5') d'une distance minimum (DR) mesurée perpendiculairement au substrat (2). La face inférieure (3a) de ladite membrane (3) n'est pas entièrement plane et est profilée en dehors de la zone d'actionnement électrostatique (31a), de telle sorte que, lorsque la membrane (3) est au repos, et pour toutes les positions en translation de la membrane (3) au repos entre lesdites positions extrêmes le long de ce premier axe de translation (XX'), la face inférieure (3a) de la membrane (3), en tout point de sa surface en regard de la face supérieure (5a) de l'électrode d'actionnement (5 ou 5'), est espacée de la face supérieure (5a) de l'électrode d'actionnement (5 ou 5') d'une distance (D) mesurée perpendiculairement au substrat (2), qui est supérieure ou égale à ladite distance minium au repos (DR). |
