用于电阻式随机存取记忆体应用之铱基底上镨钙锰氧化物薄膜低温处理

摘要

一种用于电阻式随机存取记忆体装置之铱基底上涂覆镨钙锰氧化物薄膜的方法，包括制备一基底；沈积一阻障层于该基底上；沈积一铱层于该组障层上；旋转涂布一镨钙锰氧化物层于该铱层上；以三步骤之烘烤过程烘烤该镨钙锰氧化物层与基底；在快速热处理腔中后烤退火该基底与镨钙锰氧化物层；重复上述旋转涂布、烘烤与退火步骤直至镨钙锰氧化物层具有所欲之厚度；退火该基底与镨钙锰氧化物层；沈积一顶部电极；以及完成该电阻式随机存取记忆体装置。