| 摘要 |
本发明之目的是促成在基板保持具可以保持不同尺寸之基板和可以很容易进行基板之手工操作藉以防止基板之落下。另外，在电子元件或光罩之制造时，可以减少必要之基板保持具之种类和个数，藉以减小设备成本，和可以容易的进行基板之手工操作，藉以提高生产效率。本发明之基板保持具10、20、30、40，系以其主表面沿着铅直方向之方式保持四角形之基板1，其中设有基板保持部12、22、32、42，以指定之角度倾斜之状态从下方支持基板1所邻接之二边。另外，在对基板1施加指定之处理藉以制造电子元件或光罩之制造步骤中，当进行基板1之暂时等待、保管、搬运等时，利用上述基板保持具10、20、30、40来保持基板1。 |
